高純氣體管道的安裝設計要點有哪些

　　想要有一個優質的高純氣體管道系統，就要在高純氣體管道裝置上下功夫。管道裝置除了配管和附件質料的挑選以外，***要做好的就是氣體管道整體規劃規劃了。下面洛陽方特工貿就來跟大家說下高純氣體管道裝置的規劃要點有哪些？

　　一、從氣體性質和純度考慮：

　　1、關于不同特性的氣體，應規劃獨立的供應區域。一般分為三個區：腐蝕性/毒性氣體區、可燃性氣體區、惰性氣體區，將相同性質的氣體集中加強管理，可燃性氣體區要特別規劃防爆墻與走漏口，若空間缺少，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區。

　　2、對高純氣體純度要求不同的用氣設備，宜選用分等級高純氣體運送系統；也可選用同等級運送系統，但是在純度要求高的用氣設備鄰近處設結束氣體提純設備。

　　3、依據用氣設備的散布狀況，高純氣體的管網不宜過大或許過長；宜選用不關閉的環形管路，在系統結束接二連三排放少數的氣體，以便在管網中總有高純氣體流轉，不會發生“死空間”引起高純氣體的污染。

　　4、管路中應削減不流動氣體的“死空間”，不該設有盲管，在特種氣體的儲氣瓶與用氣設備之間應設吹掃控制設備、多閥門控制設備、用以控制各個閥門的開關次第、系統吹除，以保證供氣系統的安全、牢靠運行和避免“死區”構成而逗留污染物，下降氣體純度。

　　二、從氣體檢測方面考慮：

　　1、為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，運送系統除了設置必要的接連檢測儀器，如衡量水含量或許氧雜質含量等剖析儀外，還應設置定期取樣用的檢測采樣口，以便按規矩時刻進行采樣，剖析高純氣體中各種雜質的含量。

　　2、在亞微米級的集成電路生產中，要求供應10－9級的高純氣體，為了保證結束用氣工藝設備處的氣體純度，使氣體中的雜質含量（包含塵粒）控制在規矩的數值內，一般在設備前設置結束純化設備，或結束高精度氣體過濾器。

　　三、從經濟性方面考慮：

　　管路規劃需求考慮運送的距離，距離越長，本錢越高，危險也越高，一般較合理的規劃流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量規劃方面，則需求考慮運用點的壓力和管徑巨細，前者與氣體特性有關，后者運用點的管徑一般為1/4”～3/8”。